デバイスプロWEBLOG

フランスのエア・リキードは、日本で
モノシランガスの年産能力を２０１０年に１５００トン体制にすると発表。

現在、電気化学工業との合弁会社である
デナールシランを通じて、年３００トンから同５００トンに増強中だが、
今回、さらに年１０００トン規模の製造設備の建設を決めた。

従来の半導体用途以外に、最近は太陽電池向けの需要も
拡大しているためだそうだが、
新設備の設置場所と投資額は明らかにしていない。

モノシランは半導体や太陽電池などの製造工程に使われる高純度ガス。
同社によると、世界市場は年率２５％以上で急拡大しており
「顧客に対し安定供給を確保する」狙いから、新たな投資が
必要と判断されたようだ。